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    3. 產品詳情
      • 產品名稱:桌面型不銹鋼腔體蒸發鍍膜儀

      • 產品型號:CY-EVP170S-1S-A
      • 產品廠商:成越科儀
      • 產品文檔:
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      簡單介紹:
      本產品為專為高真空設計的桌面型小型蒸發鍍膜儀,可提供*大100A的鍍膜電流,*大蒸發溫度可達1800℃,能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍
      詳情介紹:

      本產品為專為高真空設計的桌面型小型蒸發鍍膜儀,可提供*大100A的鍍膜電流,*大蒸發溫度可達1800℃,能夠滿足各種常見金屬的蒸鍍及部分非金屬蒸鍍。真空腔體采用不不銹鋼制作,出廠經過除氣處理,配合分子泵組可達到5x10-5Pa極限真空,能夠滿足絕大部分材料蒸發所需的真空環境。真空腔體采用上掀蓋開啟方式,便于取放樣,腔體上配置有帶擋板的適應觀察窗,用于觀察鍍膜過程,擋板則可以有效防止觀察窗被膜料污染。

      小型蒸發鍍膜儀技術參數:

      產品名稱

      桌面型不銹鋼腔體蒸發鍍膜儀

      產品型號

      CY-EVP170S-1S-A

      安裝條件

      1、使用環境溫度 25℃±15℃,濕度 55%Rh±10%Rh;

      2、設備供電:AC220V,50Hz,必須有良好接地;

      3、額定功率:1200w;

      4、設備用氣:設備腔室內需充注氬氣清洗,需客戶自備氬氣,純

      度 ≥99.99%;

      5、擺放工作臺尺寸要求 600mm×600mm×700mm,承重 50kg 以上;

      6、擺放位置要求通風。

      技術參數

      1、 蒸發源電壓:10V

      2、 蒸發電流 0~100A 連續可調

      3、 配 1 個鎢舟、1 個鎢絲籃;

      4、 不銹鋼旋轉上置樣品臺,直徑為60mm;

      5、 樣品與蒸發源的距離為 60~100mm 連續可調;

      6、 真空腔體為不銹鋼腔體其外徑為170mm,內徑為160mm,高度為210mm;

      7、 配有帶擋板的石英觀察窗,大小為φ60mm;

      8、 真空腔體抽氣接口為 KF40;

      9、 進氣接口為 1/4 英寸雙卡套接頭,默認配不銹鋼微調閥以調節進氣量;

      10、 顯示屏為7英寸彩色觸摸屏;

      11、 可調節蒸發電流,可設置蒸發安全電流值、安全真空值;

      12、 安全保護:過流、真空過低自動切斷蒸發電流;

      13、 極限真空:5x10-5Pa(搭配分子泵);

      14、 真空測量為電阻規真空計,其量程為:1~105Pa

      注意事項

      1、為充分發揮腔體的真空性能,建議搭配分子泵組使用。

      可選配件

      厚監測儀

      1、膜厚分辨率:0.0136?(鋁)

      2、膜厚準確度:±0.5%,取決于過程條件,特別是傳感器的位置, 材料應力,溫度和密度

      3、測量速度:100ms-1s/次,可設置測量范圍:500000?(鋁)

      4、標準傳感器晶體:6MHz

      5、適用晶片頻率:6MHz 適用晶片尺寸:Φ14mm 安裝法蘭:CF35

      其他配件

      1、 鎢舟、鎢絲籃;

      2、 有機蒸發源(含石英舟和鎢絲發熱源)

      3、 CY-CZK103系列高性能分子泵組(含復合真空計,測量范圍

      10-5Pa~105Pa);

      CY-GZK60系列小型分子泵組(含復合真空計,測量范圍10-5Pa~102Pa

      VRD-4雙極旋片真空泵

      4、 KF40真空波紋管;長度可選0.5m、1m、1.5m;KF25卡箍支架

      5、 膜厚儀晶振片;

      豫公網安備 41019702002438號

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