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    3. 產品詳情
      • 產品名稱:PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備

      • 產品型號:CY-PECVD-R
      • 產品廠商:成越科儀
      • 產品文檔:
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      簡單介紹:
      本產品為PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備。PECVD-R?旋轉等離子加強CVD設備十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。
      詳情介紹:

      旋轉PECVD 

      本產品為等離子增強回轉化學氣相沉積系統(旋轉PECVD),爐管采用變徑設計,中部管徑較粗且有有混料隔板,能夠隨著爐管的旋轉將粉體或者顆粒反復混合,通過機械傳動控制工作管能360°不間斷旋轉,使得管內物料攪拌混合獲得均勻受熱效果;設備另配有等離子發生裝置,采用電感耦合與爐管連接,產生的等離子能夠滿布爐管,有效的提高反應物活化能,降低反應溫度,提高反應效率。設備配有三路質量流量計及混氣裝置,可用于向路管內通入多種氣體,同時設備配有高性能機械泵,能夠快速將爐管抽至真空;通過泵和氣路的配合可以實現多種CVD工藝。旋轉裝置十分適合在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用CVD方法進行包裹和修飾。

      技術參數

      雙溫區管式爐

      產品型號

      CY-O1200-60IIC-R

      設備功率

      3KW

      爐管材質

      高純石英

      爐管尺寸

      Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm(石英異型管)

      爐膛長度

      440mm

      加熱區長

      200mm+200mm

      工作溫度

      0~1150℃

      極限溫度

      1200℃

      控溫精度

      ±1℃

      熱電偶類型

      K型熱電偶

      控溫模式

      30段程序控溫,PID參數自整定

      顯示模式

      高清全彩LCD觸控屏

      密封方式

      304不銹鋼真空法蘭

      供電電源

      AC:220V 50/60Hz  

      旋轉速度

      0~13rpm

      傾斜角度

      0~35°

      3路質量流量計

      產品型號

      CY-3Z

      氣路數量

      3路

      流量計類型

      質量流量計

      測量范圍

      A路:0~100sccm; B路:0~200 sccm; C路:0~500 sccm

      測量精度

      ±1.5%

      工作壓差

      0.1~0.5MPa

      管路接口

      1/4英寸卡套接頭

      供電

      AC220V 50/60Hz

      真空系統

      真空泵

      雙極旋片泵

      抽速

      1.1L/s

      抽氣接口

      KF16

      泵極限真空度

      10E-1Pa

      供電

      AC220V 50/60Hz

      射頻電源

      信號頻率

      13.56MHz±0.005%

      功率輸出范圍

      0~500W

      *大反射功率

      100W

      射頻輸出接口

      50Ω,N-Type,female

      功率穩定度

      ≤5W


      豫公網安備 41019702002438號

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