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    3. 產品詳情
      • 產品名稱:單溫區旋轉PECVD石墨烯制備系統

      • 產品型號:
      • 產品廠商:成越科儀
      • 產品文檔:
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      簡單介紹:
      單溫區旋轉PECVD,安裝有真空自動投料器,爐管尾部預留KF40接口可以連接收料罐。投料器采用螺桿進料,可以以額定的速率將粉料送入爐管,投料速率可通過調節轉速來更改。可實現在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用PECVD方法進行包裹和修飾。收料罐可以在氣氛保護環境下對處理好的料粉進行收集。 設備配有100W頻率13.56MHz的視頻電源。能夠在真空中產生等離子體。高能等離子體能夠活化樣品表面,有效的增強反應效果,提高反應速率,這種輔助方法廣泛用于石墨烯制備,顆粒包覆等科學實驗上。 本設備特別適合顆粒型樣品實驗,通過機械傳動能夠控制工作管360°不間斷連續旋轉,轉速可調,使得管內物料不斷的被攪拌混合,充分與氣體和等離子體接觸,使樣品的反應更加均勻穩定。
      詳情介紹:

      射頻電源

       

      輸出功率

      150W

       

      輸出精度

      ±1%

       

      射頻頻率

      13.56MHz

       

      射頻穩定度

      ±0.005%

       

      冷卻方式

      風冷

      1200溫區管式爐

      供電電壓

      AC220V,50Hz

       

      *大功率

      2KW

       

      加熱溫區

      單個溫區200mm

       

      工作溫度

      *高1200℃,連續運行溫度應≤1100℃

       

      控溫精度

      ±1℃

       

      控溫方式

      AI-PID 30段工藝曲線,可存儲多條

      三溫區獨立控制,帶有過熱和斷偶保護

       

      爐管材質

      高純石英

       

      爐管尺寸

      φ50x800mm

       

      密封方式

      真空不銹鋼法蘭、KF16法蘭

       

      可調轉速

      0-20rpm

       

      傾斜角度

      0-15°

       

      真空泵

      旋片機械泵

       

      極限真空度

      1.0E-1Pa

       

      進料方式

      真空漏斗加螺桿進料

      豫公網安備 41019702002438號

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